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半導體專用氮氣發(fā)生器(腔體保護氣，干泵吹掃氣)
型號：NITROGEN-M-100/200
Peculiar針對LC/MS氮氣流量、純度、壓力的特殊要求專門設計了安全、高效、方便的半導體專用氮氣發(fā)生器，它可以產生純度高達99.5%的潔凈、干燥氮氣，符合半導體行業(yè)腔體保護氣，干泵吹掃氣要求，包含APCI及ESI接口。
半導體專用氮氣發(fā)生器(腔體保護氣，干泵吹掃氣)主要技術參數：
◎流量：0-100/200L/min @100psi(7bar)
◎工作環(huán)境：5C-40℃ 濕度80%
◎使用最高海拔：2200m
◎露點：<-55℃
◎顆粒：<0.01μm
◎滯留液體：無
◎鄰苯二甲酸：無
◎噪聲：<47dB(A)
◎開機純化時間：30min
◎功率：8000W
◎電力要求：220V 50Hz
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400-859-7066
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